Hard titanium nitride coating deposition inside narrow tubes using pulsed DC PECVD processes

Amaury Kilicaslan, Oleg Zabeida, Etienne Bousser, Thomas Schmitt, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2019)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/43716/
Titre de la revue:	Surface and Coatings Technology (vol. 377)
Maison d'édition:	Elsevier B.V.
DOI:	10.1016/j.surfcoat.2019.124894
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.124894
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:02
Dernière modification:	10 août 2026 15:21

Citer en APA 7:	Kilicaslan, A., Zabeida, O., Bousser, E., Schmitt, T., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2019). Hard titanium nitride coating deposition inside narrow tubes using pulsed DC PECVD processes. Surface and Coatings Technology, 377, 124894 (10 pages). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.124894
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