Hard titanium nitride coating deposition inside narrow tubes using pulsed DC PECVD processes

Amaury Kilicaslan, Oleg Zabeida, Etienne Bousser, Thomas Schmitt, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2019)

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Département:
Département de génie physique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/43716/
Titre de la revue :
Surface and Coatings Technology ( vol. 377 )
Maison d'édition:
Elsevier B.V.
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2019.124894
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.124894
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:43716
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:02
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:55
Citer en APA 7:
Kilicaslan, A., Zabeida, O., Bousser, E., Schmitt, T., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2019). Hard titanium nitride coating deposition inside narrow tubes using pulsed DC PECVD processes. Surface and Coatings Technology, 377, 124894 (10 pages). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.124894

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