Documents publiés en "2002"
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Département de génie physique
Cova, P., Masut, R. A., Grenier, O., & Poulin, S. (2002). Effect of unintentionally introduced oxygen on the electron-cyclotron resonance chemical-vapor deposition of SiNₓ films. Journal of Applied Physics, 92(1), 129-138. Lien externe