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Allard, M., Boughaba, S., & Meunier, M. (juin 1996). Laser micromachining of free-standing structures in SiO₂ -covered silicon [Communication écrite]. Symposium H on Laser Processing of Surfaces and Thin Films of the 1996 E-MRS Spring Conference, Strasbourg France. Publié dans Applied surface science, 109-110. Lien externe

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