Documents publiés en "1994"

Département de génie physique

Meunier, M., Desjardins, P., Izquierdo, R., Tabbal, M., & Suys, M. (1994). Excimer laser for in situ processing in microelectronics. Dans Laude, L. D. (édit.), Excimer lasers : The tools, fundamentals of their interactions with matter, field of applications (p. 319-338). Lien externe