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Desjardins, P., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1992). Dépôt par laser de WSiₓ sur du TiN à partir de WF₆ et de SiH₄. [Laser deposition of WSiₓ on TiN using a mixture of WF₆ and SiH₄]. Canadian Journal of Physics, 70(10-11), 898-903. Lien externe

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