The use of elastic recoil detection for stoichiometry determination of reactively evaporated TiN layers

G. Gagnon, John F. Currie, J. L. Brebner, S. C. Gujrathi, L. Ouellet

Commentaire ou lettre (1993)

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Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 74 , no 6 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:82003
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Date du dépôt:
10 sept. 2026 15:58
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:47
Citer en APA 7:
Gagnon, G., Currie, J. F., Brebner, J. L., Gujrathi, S. C., & Ouellet, L. (1993). The use of elastic recoil detection for stoichiometry determination of reactively evaporated TiN layers [Commentaire ou lettre]. Journal of Applied Physics, 74(6), 4233-4235. https://doi.org/10.1063/1.354429

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