The use of elastic recoil detection for stoichiometry determination of reactively evaporated TiN layers

G. Gagnon, John F. Currie, J. L. Brebner, S. C. Gujrathi et L. Ouellet

Commentaire ou lettre (1993)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/82003/
Titre de la revue:	Journal of Applied Physics (vol. 74, no 6)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.354429
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.354429
Date du dépôt:	10 sept. 2026 15:58
Dernière modification:	10 sept. 2026 15:58

Citer en APA 7:	Gagnon, G., Currie, J. F., Brebner, J. L., Gujrathi, S. C., & Ouellet, L. (1993). The use of elastic recoil detection for stoichiometry determination of reactively evaporated TiN layers [Commentaire ou lettre]. Journal of Applied Physics, 74(6), 4233-4235. https://doi.org/10.1063/1.354429
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