Mechanical modeling and optimized design of in-plane fabry–perot cavities for polymer swelling sensing

Régis Guertin, Marek Pinard, Marc-Antoine Bianki et Yves-Alain Peter

Article de revue (2026)

Accès restreint: Personnel autorisé jusqu'au 16 avril 2028 Version finale avant publication Conditions d'utilisation: Creative Commons: Attribution (CC BY) Demander document

Département:	Département de génie physique
Organismes subventionnaires:	CMC Microsystems, NSERC / GRSNG
Numéro de subvention:	ALLRP 577113-2022, RGPIN-2020-06692
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/76097/
Titre de la revue:	Journal of Microelectromechanical Systems (vol. 35, no 3)
Maison d'édition:	IEEE
DOI:	10.1109/jmems.2026.3682915
URL officielle:	https://doi.org/10.1109/jmems.2026.3682915
Date du dépôt:	20 avr. 2026 09:45
Dernière modification:	10 juin 2026 15:03

Citer en APA 7:	Guertin, R., Pinard, M., Bianki, M.-A., & Peter, Y.-A. (2026). Mechanical modeling and optimized design of in-plane fabry–perot cavities for polymer swelling sensing. Journal of Microelectromechanical Systems, 35(3), 475-482. https://doi.org/10.1109/jmems.2026.3682915
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