Hydrogen Ion-Induced AlN Thin Layer Transfer: An Elastomechanical Study

Kandabara Tapily, Oussama Moutanabbir, Abdullah Mamun, Diefeng Gu, Helmut Baumgart et Abdelmageed Elmustafa

Article de revue (2010)

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URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/74549/
Titre de la revue:	ECS Transactions (vol. 33, no 4)
Maison d'édition:	Institute of Physics
DOI:	10.1149/1.3483515
URL officielle:	https://doi.org/10.1149/1.3483515
Date du dépôt:	30 juil. 2026 15:01
Dernière modification:	30 juil. 2026 15:01

Citer en APA 7:	Tapily, K., Moutanabbir, O., Mamun, A., Gu, D., Baumgart, H., & Elmustafa, A. (2010). Hydrogen Ion-Induced AlN Thin Layer Transfer: An Elastomechanical Study. ECS Transactions, 33(4), 255-261. https://doi.org/10.1149/1.3483515
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