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Electronegativity effects in chemical sputtering

Edward Sacher, John F. Currie et Arthur Yelon

Article de revue (1989)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/69589/
Titre de la revue: Surface Science (vol. 220, no 1)
Maison d'édition: Elsevier BV
DOI: 10.1016/0039-6028(89)90457-3
URL officielle: https://doi.org/10.1016/0039-6028%2889%2990457-3
Date du dépôt: 25 nov. 2025 15:05
Dernière modification: 25 nov. 2025 15:05
Citer en APA 7: Sacher, E., Currie, J. F., & Yelon, A. (1989). Electronegativity effects in chemical sputtering. Surface Science, 220(1), L679-L686. https://doi.org/10.1016/0039-6028%2889%2990457-3

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