A. M. Wróbel, B. Lamontagne, Michael R. Wertheimer
Communication écrite (1987)
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Nom de la conférence:
8th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1987)
Lieu de la conférence:
Tokyo, Japan
Date(s) de la conférence:
1987-08-31 - 1987-09-04
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:66774
ORCID
Date du dépôt:
29 juil. 2025 15:33
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:28
Citer en APA 7:
Wróbel, A. M., Lamontagne, B., & Wertheimer, M. R. (août 1987). Large area microwave plasma etching of polymers [Communication écrite]. 8th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1987), Tokyo, Japan. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc8/content/8/08-0940.pdf
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