A. Kruse, A. Fozza et Michael R. Wertheimer
Communication écrite (1995)
Un lien externe est disponible pour ce document
| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66760/ |
| Nom de la conférence: | 12th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1995) |
| Lieu de la conférence: | Minneapolis, MN, USA |
| Date(s) de la conférence: | 1995-08-21 - 1995-08-25 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc12/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 15:17 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 15:30 |
| Citer en APA 7: | Kruse, A., Fozza, A., & Wertheimer, M. R. (août 1995). Vacuum ultraviolet to visible emission of some pure gases used for plasma processing [Communication écrite]. 12th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1995), Minneapolis, MN, USA. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc12/content/12/12-0349.pdf |
|---|---|
Statistiques
Aucune statistique n'est disponible.
Actions réservées au personnel
|
Afficher document |
