Argemiro Soares Da Silva Sobrinho, Gregory Czeremuszkin, M. Latrèche et Michael R. Wertheimer
Communication écrite (1999)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| Organismes subventionnaires: | NSERC |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66758/ |
| Nom de la conférence: | 14th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1999) |
| Lieu de la conférence: | Prague, Czech Republic |
| Date(s) de la conférence: | 1999-08-02 - 1999-08-06 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc14/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 15:03 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 15:03 |
| Citer en APA 7: | Da Silva Sobrinho, A. S., Czeremuszkin, G., Latrèche, M., & Wertheimer, M. R. (août 1999). A study of defect numbers and distributions in pecvd SiO₂ and SiN transparent barrier coatings on pet: their relationship with gas permeation [Communication écrite]. 14th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1999), Prague, Czech Republic. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc14/content/14/14-1267.pdf |
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