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Ablation of polymers by plasma and by VUV photons: a mass spectrometry study

Valentin Nelea, Florina Truica-Marasescu et Michael R. Wertheimer

Communication écrite (2005)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/66744/
Nom de la conférence: 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2005)
Lieu de la conférence: Toronto, ON, Canada
Date(s) de la conférence: 2005-08-07 - 2005-08-12
URL officielle: https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc17/co...
Date du dépôt: 24 juil. 2025 11:47
Dernière modification: 24 juil. 2025 11:47
Citer en APA 7: Nelea, V., Truica-Marasescu, F., & Wertheimer, M. R. (août 2005). Ablation of polymers by plasma and by VUV photons: a mass spectrometry study [Communication écrite]. 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2005), Toronto, ON, Canada (5 pages). https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc17/complete/ISPC17complete.pdf#page=2353

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