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Growth of thin films via atmospheric UVC-driven syngas PICVD

Donya Farhanian, Gregory De Crescenzo et Jason Robert Tavares

Communication écrite (2017)

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Département: Département de génie chimique
Centre de recherche: CREPEC - Centre de recherche sur les systèmes polymères et composites à haute performance
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/66733/
Nom de la conférence: 23rd International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2017)
Lieu de la conférence: Montréal, Canada
Date(s) de la conférence: 2017-07-30 - 2017-08-04
URL officielle: https://www.ispc-conference.org/ispcproc/ispc23/87...
Date du dépôt: 24 juil. 2025 10:58
Dernière modification: 24 juil. 2025 10:58
Citer en APA 7: Farhanian, D., De Crescenzo, G., & Tavares, J. R. (juillet 2017). Growth of thin films via atmospheric UVC-driven syngas PICVD [Communication écrite]. 23rd International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2017), Montréal, Canada (3 pages). https://www.ispc-conference.org/ispcproc/ispc23/876.pdf

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