Hybrid octa-silane polyhedral oligomeric silsesquioxane (OS-POSS) optical films prepared by ion beam assisted evaporation

Artem Shelemin, Oleg Zabeida, Jincheng Qian, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2023)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/53205/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films (vol. 41, no 2)
Maison d'édition:	AVS Science and Technology Society
DOI:	10.1116/6.0002371
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/6.0002371
Date du dépôt:	18 avr. 2023 14:58
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:58

Citer en APA 7:	Shelemin, A., Zabeida, O., Qian, J., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2023). Hybrid octa-silane polyhedral oligomeric silsesquioxane (OS-POSS) optical films prepared by ion beam assisted evaporation. Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 41(2), 15 pages. https://doi.org/10.1116/6.0002371
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