G. F. Zhang, Stephan Reuter
et V. Buck
Article de revue (2005)
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/44039/ |
|---|---|
| Titre de la revue: | Surface and Coatings Technology (vol. 190, no 1) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/j.surfcoat.2004.04.061 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.04.061 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:42 |
| Citer en APA 7: | Zhang, G. F., Reuter, S., & Buck, V. (2005). Deposition of hard carbon coatings using combined inductively and capacitively coupled plasma sources. Surface and Coatings Technology, 190(1), 54-59. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.04.061 |
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