Deposition of hard carbon coatings using combined inductively and capacitively coupled plasma sources

G. F. Zhang, Stephan Reuter, V. Buck

Article de revue (2005)

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Titre de la revue :
Surface and Coatings Technology ( vol. 190 , no 1 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:44039
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:56
Citer en APA 7:
Zhang, G. F., Reuter, S., & Buck, V. (2005). Deposition of hard carbon coatings using combined inductively and capacitively coupled plasma sources. Surface and Coatings Technology, 190(1), 54-59. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.04.061

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