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Effect of hydrogen implantation on the mechanical properties of AlN throughout ion-induced splitting

M. A. Mamun, K. Tapily, Oussama Moutanabbir, H. Baumgart et A. A. Elmustafa

Article de revue (2018)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/39821/
Titre de la revue: ECS Journal of Solid State Science and Technology (vol. 7, no 4)
Maison d'édition: The Electrochemical Society
DOI: 10.1149/2.0131804jss
URL officielle: https://doi.org/10.1149/2.0131804jss
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:03
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:35
Citer en APA 7: Mamun, M. A., Tapily, K., Moutanabbir, O., Baumgart, H., & Elmustafa, A. A. (2018). Effect of hydrogen implantation on the mechanical properties of AlN throughout ion-induced splitting. ECS Journal of Solid State Science and Technology, 7(4), P180-P184. https://doi.org/10.1149/2.0131804jss

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