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Microwave and Dual-Frequency Plasma Processing

Michael R. Wertheimer, Ludvik Martinu et M. Moisan

Chapitre de livre (1997)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38293/
Éditeurs ou éditrices: Ricardo d'Agostino, Pietro Favia et Francesco Fracassi
Maison d'édition: Kluwer Academic
URL officielle: https://link.springer.com/book/9780792348597
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:32
Citer en APA 7: Wertheimer, M. R., Martinu, L., & Moisan, M. (1997). Microwave and Dual-Frequency Plasma Processing. Dans d'Agostino, R., Favia, P., & Fracassi, F. (édit.), Plasma Processing of Polymers (101-127). https://link.springer.com/book/9780792348597

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