Structural and vibrational properties of silicon dioxide thin films densified by medium-energy particles bombardment

Alexis Lefèvre, Laurent J. Lewis, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer

Article de revue (2011)

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Titre de la revue :
MRS Proceedings ( vol. 677 )
Maison d'édition:
Cambridge University Press
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38275
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:12
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Lefèvre, A., Lewis, L. J., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (2011). Structural and vibrational properties of silicon dioxide thin films densified by medium-energy particles bombardment. MRS Proceedings, 677. https://doi.org/10.1557/proc-677-aa4.21

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