Structural and vibrational properties of silicon dioxide thin films densified by medium-energy particles bombardment

Alexis Lefèvre, Laurent J. Lewis, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer

Article de revue (2011)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38275/
Titre de la revue:	MRS Proceedings (vol. 677)
Maison d'édition:	Cambridge University Press
DOI:	10.1557/proc-677-aa4.21
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-677-aa4.21
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:12
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:32

Citer en APA 7:	Lefèvre, A., Lewis, L. J., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (2011). Structural and vibrational properties of silicon dioxide thin films densified by medium-energy particles bombardment. MRS Proceedings, 677. https://doi.org/10.1557/proc-677-aa4.21
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