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Energy fluxes in mixed microwave-r.f. plasma

O. M. Küttel, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1990)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38273/
Titre de la revue: Thin Solid Films (vol. 193)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/s0040-6090(05)80023-9
URL officielle: https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2805%2980023-9
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:32
Citer en APA 7: Küttel, O. M., Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (1990). Energy fluxes in mixed microwave-r.f. plasma. Thin Solid Films, 193, 155-163. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2805%2980023-9

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