Energy fluxes in mixed microwave-r.f. plasma

O. M. Küttel, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer

Article de revue (1990)

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Titre de la revue :
Thin Solid Films ( vol. 193 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38273
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Küttel, O. M., Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (1990). Energy fluxes in mixed microwave-r.f. plasma. Thin Solid Films, 193, 155-163. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2805%2980023-9

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