M. Moisan, C. Barbeau, R. Claude, C. M. Ferreira, J. Margot, J. Paraszczak, A. B. Sá, G. Sauvé et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1991)
Un lien externe est disponible pour ce documentDépartement: | Département de génie physique |
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URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38195/ |
Titre de la revue: | Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena (vol. 9, no 1) |
Maison d'édition: | American Vacuum Society |
DOI: | 10.1116/1.585795 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.585795 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:32 |
Citer en APA 7: | Moisan, M., Barbeau, C., Claude, R., Ferreira, C. M., Margot, J., Paraszczak, J., Sá, A. B., Sauvé, G., & Wertheimer, M. R. (1991). Radio frequency or microwave plasma reactors? Factors determining the optimum frequency of operation. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena, 9(1), 8-25. https://doi.org/10.1116/1.585795 |
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