M. Moisan, C. Barbeau, R. Claude, C. M. Ferreira, J. Margot, J. Paraszczak, A. B. Sá, G. Sauvé, Michael R. Wertheimer
Article de revue (1991)
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Titre de la revue
:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
(
vol.
9
,
no
1
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38195
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Moisan, M., Barbeau, C., Claude, R., Ferreira, C. M., Margot, J., Paraszczak, J., Sá, A. B., Sauvé, G., & Wertheimer, M. R. (1991). Radio frequency or microwave plasma reactors? Factors determining the optimum frequency of operation. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena, 9(1), 8-25. https://doi.org/10.1116/1.585795
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