B. Lamontagne, A. M. Wrobel, G. Jalbert et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1987)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38190/ |
| Titre de la revue: | Journal of Physics D: Applied Physics (vol. 20, no 7) |
| Maison d'édition: | IOP Publishing |
| DOI: | 10.1088/0022-3727/20/7/005 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1088/0022-3727/20/7/005 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:32 |
| Citer en APA 7: | Lamontagne, B., Wrobel, A. M., Jalbert, G., & Wertheimer, M. R. (1987). Large-area microwave plasma etching of polyimide. Journal of Physics D: Applied Physics, 20(7), 844-844. https://doi.org/10.1088/0022-3727/20/7/005 |
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