B. Lamontagne, A. M. Wróbel, G. Jalbert, Michael R. Wertheimer
Article de revue (1987)
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Titre de la revue
:
Journal of Physics D: Applied Physics
(
vol.
20
,
no
7
)
Maison d'édition:
IOP Publishing
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38190
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Lamontagne, B., Wróbel, A. M., Jalbert, G., & Wertheimer, M. R. (1987). Large-area microwave plasma etching of polyimide. Journal of Physics D: Applied Physics, 20(7), 844-844. https://doi.org/10.1088/0022-3727/20/7/005
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