Comparison of microwave and lower-frequency discharges for plasma polymerization

R. Claude, M. Moisan, Michael R. Wertheimer et Z. Zakrzewski

Article de revue (1987)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38148/
Titre de la revue:	Plasma Chemistry and Plasma Processing (vol. 7, no 4)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/bf01030489
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/bf01030489
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:32

Citer en APA 7:	Claude, R., Moisan, M., Wertheimer, M. R., & Zakrzewski, Z. (1987). Comparison of microwave and lower-frequency discharges for plasma polymerization. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 7(4), 451-464. https://doi.org/10.1007/bf01030489
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