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Generation of large volume microwave plasmas

R. G. Bosisio, Michael R. Wertheimer et C. F. Weissfloch

Article de revue (1973)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38144/
Titre de la revue: Journal of Physics E: Scientific Instruments (vol. 6, no 7)
Maison d'édition: IOP Publishing
DOI: 10.1088/0022-3735/6/7/013
URL officielle: http://stacks.iop.org/0022-3735/6/i=7/a=013
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:32
Citer en APA 7: Bosisio, R. G., Wertheimer, M. R., & Weissfloch, C. F. (1973). Generation of large volume microwave plasmas. Journal of Physics E: Scientific Instruments, 6(7), 628-628. http://stacks.iop.org/0022-3735/6/i=7/a=013

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