KrF excimer laser direct writing of titanium lines: modeling and application to the fabrication of Ti:Linbo₃ waveguides

Michel Meunier, C. Lavoie, S. Boivin, Ricardo Izquierdo, Patrick Desjardins, S. Iraj Najafi

Communication écrite (1990)

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Organismes subventionnaires:
CRSNG / NSERC, Fondation des Diplômés de Polytechnique
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
1990 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:
Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:
1990-11-26 - 1990-12-01
Titre de la revue :
MRS Proceedings ( vol. 201 )
Maison d'édition:
Materials Research Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35794
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Meunier, M., Lavoie, C., Boivin, S., Izquierdo, R., Desjardins, P., & Najafi, S. I. (novembre 1990). KrF excimer laser direct writing of titanium lines: modeling and application to the fabrication of Ti:Linbo₃ waveguides [Communication écrite]. 1990 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 201. https://doi.org/10.1557/proc-201-625

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