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KrF excimer laser direct writing of titanium lines: modeling and application to the fabrication of Ti:Linbo₃ waveguides

Michel Meunier, C. Lavoie, S. Boivin, R. Izquierdo, Patrick Desjardins et S. I. Najafi

Communication écrite (1990)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
Organismes subventionnaires: CRSNG / NSERC, Fondation des Diplômés de Polytechnique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/35794/
Nom de la conférence: 1990 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence: Boston, Mass.
Date(s) de la conférence: 1990-11-26 - 1990-12-01
Titre de la revue: MRS Proceedings (vol. 201)
Maison d'édition: Materials Research Society
DOI: 10.1557/proc-201-625
URL officielle: https://doi.org/10.1557/proc-201-625
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:28
Citer en APA 7: Meunier, M., Lavoie, C., Boivin, S., Izquierdo, R., Desjardins, P., & Najafi, S. I. (novembre 1990). KrF excimer laser direct writing of titanium lines: modeling and application to the fabrication of Ti:Linbo₃ waveguides [Communication écrite]. 1990 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 201. https://doi.org/10.1557/proc-201-625

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