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Laser-induced damaged formation and tungsten deposition on GaAs

A. Lecours, Michel Meunier et R. Izquierdo

Article de revue (1992)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/35766/
Titre de la revue: Applied Surface Science (vol. 54)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/0169-4332(92)90018-s
URL officielle: https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990018-s
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:19
Citer en APA 7: Lecours, A., Meunier, M., & Izquierdo, R. (1992). Laser-induced damaged formation and tungsten deposition on GaAs. Applied Surface Science, 54, 60-63. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990018-s

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