Large area excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride

C. Lavoie, Michel Meunier, R. Izquierdo, S. Boivin et Patrick Desjardins

Article de revue (1991)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35763/
Titre de la revue:	Applied Physics A Solids and Surfaces (vol. 53, no 4)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/bf00357198
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/bf00357198
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Lavoie, C., Meunier, M., Izquierdo, R., Boivin, S., & Desjardins, P. (1991). Large area excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride. Applied Physics A Solids and Surfaces, 53(4), 339-342. https://doi.org/10.1007/bf00357198
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