R. Izquierdo, A. Lecours et Michel Meunier
Communication écrite (1991)
Un lien externe est disponible pour ce documentDépartement: | Département de génie physique |
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Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35747/ |
Nom de la conférence: | 1991 MRS Fall Meeting |
Lieu de la conférence: | Boston, Mass. |
Date(s) de la conférence: | 1991-12-02 - 1991-12-06 |
Titre de la revue: | MRS Proceedings (vol. 236) |
Maison d'édition: | Materials Research Society |
DOI: | 10.1557/proc-236-111 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1557/proc-236-111 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:28 |
Citer en APA 7: | Izquierdo, R., Lecours, A., & Meunier, M. (décembre 1991). Laser CVD of tungsten on silicon oxynitride [Communication écrite]. 1991 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 236. https://doi.org/10.1557/proc-236-111 |
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