IR laser-induced deposition of silicon thin films

T. R. Gattuso, Michel Meunier, David Adler, J. S. Haggerty

Communication écrite (1982)

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Nom de la conférence:
1982 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:
Boston, Massachusetts
Date(s) de la conférence:
1982-11-01 - 1982-11-04
Titre de la revue :
MRS Proceedings ( vol. 17 )
Maison d'édition:
Materials Research Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35732
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Gattuso, T. R., Meunier, M., Adler, D., & Haggerty, J. S. (novembre 1982). IR laser-induced deposition of silicon thin films [Communication écrite]. 1982 MRS Fall Meeting, Boston, Massachusetts. Publié dans MRS Proceedings, 17. https://doi.org/10.1557/proc-17-215

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