Jean-Numa Gillet, Jean-Yves Degorce, Yougui Liao, Michel Meunier
Communication écrite (2004)
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Nom de la conférence:
APS March Meeting
Lieu de la conférence:
Montréal, Québec
Date(s) de la conférence:
2004-03-22 - 2004-03-26
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35142
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:24
Citer en APA 7:
Gillet, J.-N., Degorce, J.-Y., Liao, Y., & Meunier, M. (mars 2004). Real-time modeling of modeling of ultra-shallow doping by laser annealing for next-generation CMOS [Communication écrite]. APS March Meeting, Montréal, Québec.
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