Jean-Numa Gillet, Jean-Yves Degorce, Yougui Liao et Michel Meunier
Communication écrite (2004)
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| Département: | Département de génie physique |
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35142/ |
| Nom de la conférence: | APS March Meeting |
| Lieu de la conférence: | Montréal, Québec |
| Date(s) de la conférence: | 2004-03-22 - 2004-03-26 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:27 |
| Citer en APA 7: | Gillet, J.-N., Degorce, J.-Y., Liao, Y., & Meunier, M. (mars 2004). Real-time modeling of modeling of ultra-shallow doping by laser annealing for next-generation CMOS [Communication écrite]. APS March Meeting, Montréal, Québec. |
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