Yves-Alain Peter
, H. P. Herzig et S. Bottinelli
Communication écrite (1998)
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/33947/ |
|---|---|
| Nom de la conférence: | Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV |
| Lieu de la conférence: | Santa Clara, USA |
| Date(s) de la conférence: | 1998-09-21 - 1998-09-22 |
| Maison d'édition: | SPIE - International Society for Optical Engineering |
| DOI: | 10.1117/12.324279 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.324279 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:23 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:25 |
| Citer en APA 7: | Peter, Y.-A., Herzig, H. P., & Bottinelli, S. (septembre 1998). XY-stage for alignment of optical elements in MOEMS [Communication écrite]. Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV, Santa Clara, USA. https://doi.org/10.1117/12.324279 |
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