Yves-Alain Peter
, Hans Peter Herzig, S. Bottinelli
Communication écrite (1998)
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Nom de la conférence:
Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV
Lieu de la conférence:
Santa Clara, USA
Date(s) de la conférence:
1998-09-21 - 1998-09-22
Maison d'édition:
SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:33947
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:22
Citer en APA 7:
Peter, Y.-A., Herzig, H. P., & Bottinelli, S. (septembre 1998). XY-stage for alignment of optical elements in MOEMS [Communication écrite]. Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV, Santa Clara, USA. https://doi.org/10.1117/12.324279
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