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Combustion of effluent gases from a metal-organic vapor phase epitaxy system

P. Cova, Rémo A. Masut, C. A. Tran, A. Bensaada et John F. Currie

Article de revue (1994)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/33417/
Titre de la revue: Combustion Science and Technology (vol. 97, no 1-3)
Maison d'édition: Taylor & Francis
DOI: 10.1080/00102209408935365
URL officielle: https://doi.org/10.1080/00102209408935365
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:25
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:24
Citer en APA 7: Cova, P., Masut, R. A., Tran, C. A., Bensaada, A., & Currie, J. F. (1994). Combustion of effluent gases from a metal-organic vapor phase epitaxy system. Combustion Science and Technology, 97(1-3), 1-11. https://doi.org/10.1080/00102209408935365

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