Diode laser-induced pyrolitic decomposition of spin-coated organometallic thin films

Stéphane Evoy, Marie-Hélène Bernier, Patrick Desjardins, Ricardo Izquierdo, Michel Meunier et Edward Sacher

Communication écrite (1993)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/33339/
Nom de la conférence:	Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures
Lieu de la conférence:	Québec, Canada
Date(s) de la conférence:	1993-08-17 - 1993-08-19
Maison d'édition:	SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.167543
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.167543
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:24

Citer en APA 7:	Evoy, S., Bernier, M.-H., Desjardins, P., Izquierdo, R., Meunier, M., & Sacher, E. (août 1993). Diode laser-induced pyrolitic decomposition of spin-coated organometallic thin films [Communication écrite]. Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures, Québec, Canada. https://doi.org/10.1117/12.167543
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