A. Holländer et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1994)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/33217/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 12, no 3) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.579271 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.579271 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:25 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:24 |
| Citer en APA 7: | Holländer, A., & Wertheimer, M. R. (1994). Vacuum ultraviolet emission from microwave plasmas of hydrogen and its mixtures with helium and oxygen. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 12(3), 879-882. https://doi.org/10.1116/1.579271 |
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