Vacuum ultraviolet emission from microwave plasmas of hydrogen and its mixtures with helium and oxygen

A. Holländer, Michael R. Wertheimer

Article de revue (1994)

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Titre de la revue :
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films ( vol. 12 , no 3 )
Maison d'édition:
American Vacuum Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:33217
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:21
Citer en APA 7:
Holländer, A., & Wertheimer, M. R. (1994). Vacuum ultraviolet emission from microwave plasmas of hydrogen and its mixtures with helium and oxygen. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 12(3), 879-882. https://doi.org/10.1116/1.579271

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