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Materials processing in dual-mode microwave/radiofrequency plasmas

Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1992)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/33159/
Nom de la conférence: 18th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics
Lieu de la conférence: Vancouver, BC, CAN
Date(s) de la conférence: 1992-07-26 - 1992-07-30
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:25
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:24
Citer en APA 7: Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (juillet 1992). Materials processing in dual-mode microwave/radiofrequency plasmas [Communication écrite]. 18th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics, Vancouver, BC, CAN.

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