Materials processing in dual-mode microwave/radiofrequency plasmas

Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1992)

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ISBN:
1563470802
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
18th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics
Lieu de la conférence:
Vancouver, BC, CAN
Date(s) de la conférence:
1992-07-26 - 1992-07-30
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:33159
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:21
Citer en APA 7:
Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (juillet 1992). Materials processing in dual-mode microwave/radiofrequency plasmas [Communication écrite]. 18th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics, Vancouver, BC, CAN.

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