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Effect of amorphous carbon layers on the growth of diamond in dual-frequency plasma

P. Reinke, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (1994)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/32920/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 76, no 10)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.358385
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.358385
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:25
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:23
Citer en APA 7: Reinke, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (1994). Effect of amorphous carbon layers on the growth of diamond in dual-frequency plasma. Journal of Applied Physics, 76(10), 5754-5759. https://doi.org/10.1063/1.358385

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