Article de revue (1994)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/32894/ |
| Titre de la revue: | Progress in Surface Science (vol. 47, no 3) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/0079-6816(94)90020-5 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/0079-6816%2894%2990020-5 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:25 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:23 |
| Citer en APA 7: | Sacher, E. (1994). Fluoropolymer metallization for microelectronic applications. Progress in Surface Science, 47(3), 273-300. https://doi.org/10.1016/0079-6816%2894%2990020-5 |
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