Werner Wirges, S. Bauer-Gogonea, Stefan Bauer, R. Gerhard-Multhaupt, Ludvik Martinu
, Michael R. Wertheimer
Communication écrite (1994)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Nanofabrication Technologies and Device Integration
Maison d'édition:
SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:32746
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:20
Citer en APA 7:
Wirges, W., Bauer-Gogonea, S., Bauer, S., Gerhard-Multhaupt, R., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. Plasma-deposited fluorocarbon coatings for passive and active integrated optical devices [Communication écrite]. Nanofabrication Technologies and Device Integration. https://doi.org/10.1117/12.180976
Statistiques
Dimensions
