Plasma-deposited fluorocarbon coatings for passive and active integrated optical devices

W. Wirges, S. Bauer-Gogonea, S. Bauer, R. Gerhard-Multhaupt, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1994)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/32746/
Nom de la conférence:	Nanofabrication Technologies and Device Integration
Maison d'édition:	SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.180976
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.180976
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:23

Citer en APA 7:	Wirges, W., Bauer-Gogonea, S., Bauer, S., Gerhard-Multhaupt, R., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. Plasma-deposited fluorocarbon coatings for passive and active integrated optical devices [Communication écrite]. Nanofabrication Technologies and Device Integration. https://doi.org/10.1117/12.180976
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