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Formation of TiN films using thermal plasma reactive formig

S. Grenier, K. Shankar, P. Tsantrizos et Frank Ajersch

Communication écrite (1995)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/32217/
Nom de la conférence: 8th International Symposium on Novel Techniques in Synthesis and Processing of Advanced Materials
Date(s) de la conférence: 1995-01-01 - 1995-12-31
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 18 avr. 2023 15:24
Citer en APA 7: Grenier, S., Shankar, K., Tsantrizos, P., & Ajersch, F. (janvier 1995). Formation of TiN films using thermal plasma reactive formig [Communication écrite]. 8th International Symposium on Novel Techniques in Synthesis and Processing of Advanced Materials.

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