Ion energy distributions in dual- and single-mode microwave/radio-frequency plasma

P. Reinke, S. Bureau, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (1995)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/31797/
Titre de la revue:	Journal of Applied Physics (vol. 78, no 8)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.359772
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.359772
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:21

Citer en APA 7:	Reinke, P., Bureau, S., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (1995). Ion energy distributions in dual- and single-mode microwave/radio-frequency plasma. Journal of Applied Physics, 78(8), 4855-4858. https://doi.org/10.1063/1.359772
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