Ion energy distributions in dual- and single-mode microwave/radio-frequency plasma

Reinke, P.; Bureau, S.; Sapieha, Jolanta-Ewa; Martinu, Ludvik; Reinke, P.; Bureau, S.; Sapieha, Jolanta-Ewa; Martinu, Ludvik

Ion energy distributions in dual- and single-mode microwave/radio-frequency plasma

P. Reinke, S. Bureau, Jolanta-Ewa Sapieha , Ludvik Martinu

Article de revue (1995)

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Département:

Département de génie physique

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/31797/

Titre de la revue :

Journal of Applied Physics ( vol. 78 , no 8 )

Maison d'édition:

American Institute of Physics

DOI:

10.1063/1.359772

URL officielle:

https://doi.org/10.1063/1.359772

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:31797

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:25

Dernière modification:

14 oct. 2026 13:19

Citer en APA 7:

Reinke, P., Bureau, S., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (1995). Ion energy distributions in dual- and single-mode microwave/radio-frequency plasma. Journal of Applied Physics, 78(8), 4855-4858. https://doi.org/10.1063/1.359772

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