<  Retour au portail Polytechnique Montréal

Calculation of a Al-Ti-O-N quaternary isotherm diagram for the prediction of stable phases in TiN/Al alloy contact metallization

Mario Caron, Gilles Gagnon, Vincent Fortin, John F. Currie, Luc Ouellet, Yves Tremblay, Max Biberger et Reese Reynolds

Article de revue (1996)

Un lien externe est disponible pour ce document
Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31445/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 79, no 8)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.361760
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.361760
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:21
Citer en APA 7: Caron, M., Gagnon, G., Fortin, V., Currie, J. F., Ouellet, L., Tremblay, Y., Biberger, M., & Reynolds, R. (1996). Calculation of a Al-Ti-O-N quaternary isotherm diagram for the prediction of stable phases in TiN/Al alloy contact metallization. Journal of Applied Physics, 79(8), 4468-4470. https://doi.org/10.1063/1.361760

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document Afficher document