Calculation of a Al-Ti-O-N quaternary isotherm diagram for the prediction of stable phases in TiN/Al alloy contact metallization

Caron, Mario; Gagnon, Gilles; Fortin, Vincent; Currie, John F.; Ouellet, Luc; Tremblay, Yves; Biberger, Max; Reynolds, Reese; Caron, Mario; Gagnon, Gilles; Fortin, Vincent; Currie, John F.; Ouellet, Luc; Tremblay, Yves; Biberger, Max; Reynolds, Reese

Calculation of a Al-Ti-O-N quaternary isotherm diagram for the prediction of stable phases in TiN/Al alloy contact metallization

Mario Caron, Gilles Gagnon, Vincent Fortin, John F. Currie, Luc Ouellet, Yves Tremblay, Max Biberger, Reese Reynolds

Article de revue (1996)

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Renseignements supplémentaires:

Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux

Département:

Département de génie physique

Unité de recherche:

GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/31445/

Titre de la revue :

Journal of Applied Physics ( vol. 79 , no 8 )

Maison d'édition:

American Institute of Physics

DOI:

10.1063/1.361760

URL officielle:

https://doi.org/10.1063/1.361760

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:31445

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:24

Dernière modification:

14 oct. 2026 13:18

Citer en APA 7:

Caron, M., Gagnon, G., Fortin, V., Currie, J. F., Ouellet, L., Tremblay, Y., Biberger, M., & Reynolds, R. (1996). Calculation of a Al-Ti-O-N quaternary isotherm diagram for the prediction of stable phases in TiN/Al alloy contact metallization. Journal of Applied Physics, 79(8), 4468-4470. https://doi.org/10.1063/1.361760

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