Directional effects during ion implantation: lateral mass transport and anisotropic growth

M. Chicoine, S. Roorda, L. Cliche, Rémo A. Masut

Article de revue (1997)

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Titre de la revue :
Physical review. B, Condensed matter ( vol. 56 , no 3 )
Maison d'édition:
American Physical Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:30576
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:17
Citer en APA 7:
Chicoine, M., Roorda, S., Cliche, L., & Masut, R. A. (1997). Directional effects during ion implantation: lateral mass transport and anisotropic growth. Physical review. B, Condensed matter, 56(3), 1551-1560. https://doi.org/10.1103/physrevb.56.1551

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