<  Retour au portail Polytechnique Montréal

Directional effects during ion implantation: lateral mass transport and anisotropic growth

M. Chicoine, S. Roorda, L. Cliche et Rémo A. Masut

Article de revue (1997)

Un lien externe est disponible pour ce document
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/30576/
Titre de la revue: Physical review. B, Condensed matter (vol. 56, no 3)
Maison d'édition: American Physical Society
DOI: 10.1103/physrevb.56.1551
URL officielle: https://doi.org/10.1103/physrevb.56.1551
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:20
Citer en APA 7: Chicoine, M., Roorda, S., Cliche, L., & Masut, R. A. (1997). Directional effects during ion implantation: lateral mass transport and anisotropic growth. Physical review. B, Condensed matter, 56(3), 1551-1560. https://doi.org/10.1103/physrevb.56.1551

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document Afficher document