Excimer laser removal of organic contaminants from silicon wafer surfaces

M. K. Shi, Edward Sacher et Michel Meunier

Communication écrite (1997)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/30059/
Nom de la conférence:	Annual Meeting of the Adhesion Society
Date(s) de la conférence:	1997-01-01 - 1997-12-31
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:19

Citer en APA 7:	Shi, M. K., Sacher, E., & Meunier, M. (janvier 1997). Excimer laser removal of organic contaminants from silicon wafer surfaces [Communication écrite]. Annual Meeting of the Adhesion Society.
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