C. Benvenuti, Paolo Chiggiato, Fabio Cicoira
, V. Ruzinov
Communication écrite (1997)
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Nom de la conférence:
6th International Workshop on Electronic Properties of Metal/Non-Metal Microsystems (EPMS 97)
Date(s) de la conférence:
1997-09-07 - 1997-09-12
Titre de la revue
:
Vacuum
(
vol.
50
,
no
1-2
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29847
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:07
Citer en APA 7:
Benvenuti, C., Chiggiato, P., Cicoira, F., & Ruzinov, V. (septembre 1997). Decreasing surface outgassing by thin film getter coatings [Communication écrite]. 6th International Workshop on Electronic Properties of Metal/Non-Metal Microsystems (EPMS 97). Publié dans Vacuum, 50(1-2). https://doi.org/10.1016/s0042-207x%2898%2900017-7
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