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Decreasing surface outgassing by thin film getter coatings

C. Benvenuti, P. Chiggiato, Fabio Cicoira et V. Ruzinov

Communication écrite (1997)

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URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29847/
Nom de la conférence: 6th International Workshop on Electronic Properties of Metal/Non-Metal Microsystems (EPMS 97)
Date(s) de la conférence: 1997-09-07 - 1997-09-12
Titre de la revue: Vacuum (vol. 50, no 1-2)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/s0042-207x(98)00017-7
URL officielle: https://doi.org/10.1016/s0042-207x%2898%2900017-7
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:22
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:18
Citer en APA 7: Benvenuti, C., Chiggiato, P., Cicoira, F., & Ruzinov, V. (septembre 1997). Decreasing surface outgassing by thin film getter coatings [Communication écrite]. 6th International Workshop on Electronic Properties of Metal/Non-Metal Microsystems (EPMS 97). Publié dans Vacuum, 50(1-2). https://doi.org/10.1016/s0042-207x%2898%2900017-7

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