Elastic Recoil Detection Using Time-of-Flight for Analysis of Tin/Alsicu/Tin/Ti Contact Metallization Structures

S. C. Gujrathi, G. Gagnon, V. Fortin, M. Caron, John F. Currie, L. Ouellet, Y. Tremblay

Article de revue (1998)

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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
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Titre de la revue :
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms ( vol. 138 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29634
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:07
Citer en APA 7:
Gujrathi, S. C., Gagnon, G., Fortin, V., Caron, M., Currie, J. F., Ouellet, L., & Tremblay, Y. (1998). Elastic Recoil Detection Using Time-of-Flight for Analysis of Tin/Alsicu/Tin/Ti Contact Metallization Structures. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms, 138, 661-668. https://doi.org/10.1016/s0168-583x%2897%2900882-3

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