A. Hallil, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
, Michael R. Wertheimer et Ludvik Martinu
Communication écrite (1999)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/28909/ |
| Nom de la conférence: | Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters |
| URL officielle: | https://www.svc.org/clientuploads/directory/resour... |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:22 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:17 |
| Citer en APA 7: | Hallil, A., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Martinu, L. Mass resolved ion energy distributions in dual-mode microwave/radio frequency plasma [Communication écrite]. Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters. https://www.svc.org/clientuploads/directory/resource_library/99_311.pdf |
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