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Excimer Laser Induced Removal of Particles From Hydrophilic Silicon Surfaces

X. Wu, Edward Sacher et Michel Meunier

Article de revue (1999)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/28482/
Titre de la revue: Journal of Adhesion (vol. 70, no 1-2)
Maison d'édition: Taylor & Francis
DOI: 10.1080/00218469908010493
URL officielle: https://doi.org/10.1080/00218469908010493
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:22
Dernière modification: 05 janv. 2024 17:13
Citer en APA 7: Wu, X., Sacher, E., & Meunier, M. (1999). Excimer Laser Induced Removal of Particles From Hydrophilic Silicon Surfaces. Journal of Adhesion, 70(1-2), 167-178. https://doi.org/10.1080/00218469908010493

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