A. Hallil, Oleg Zabeida, Michael R. Wertheimer
, Ludvik Martinu
Article de revue (2000)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
18
,
no
3
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:28134
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:04
Citer en APA 7:
Hallil, A., Zabeida, O., Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (2000). Mass-Resolved Ion Energy Distributions in Continuous Dual Mode Microwave/Radio Frequency Plasmas in Argon and Nitrogen. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 18(3), 882-890. https://doi.org/10.1116/1.582271
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