Mass-Resolved Ion Energy Distributions in Continuous Dual Mode Microwave/Radio Frequency Plasmas in Argon and Nitrogen

A. Hallil, O. Zabeida, Michael R. Wertheimer et Ludvik Martinu

Article de revue (2000)

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Renseignements supplémentaires:	Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/28134/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 18, no 3)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.582271
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.582271
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:16

Citer en APA 7:	Hallil, A., Zabeida, O., Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (2000). Mass-Resolved Ion Energy Distributions in Continuous Dual Mode Microwave/Radio Frequency Plasmas in Argon and Nitrogen. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 18(3), 882-890. https://doi.org/10.1116/1.582271
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