Production of photoluminescent Si-based nanostructures by laser ablation : effects of the ablation and post-deposition conditions

Andrei V. Kabashin, M. Charbonneau-Lefort, Michel Meunier et Richard Leonelli

Communication écrite (2000)

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Renseignements supplémentaires:	Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/28094/
Nom de la conférence:	5th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 2000)
Lieu de la conférence:	San Jose, CA, United States
Date(s) de la conférence:	2000-01-24 - 2000-01-26
Maison d'édition:	SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.387555
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.387555
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:16

Citer en APA 7:

Kabashin, A. V., Charbonneau-Lefort, M., Meunier, M., & Leonelli, R. (janvier 2000). Production of photoluminescent Si-based nanostructures by laser ablation : effects of the ablation and post-deposition conditions [Communication écrite]. 5th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 2000), San Jose, CA, United States. https://doi.org/10.1117/12.387555

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