Article de revue (2000)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/28001/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 18, no 6) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.1314395 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.1314395 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:22 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:15 |
| Citer en APA 7: | Martinu, L., & Poltras, D. (2000). Plasma Deposition of Optical Films and Coatings: a Review. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 18(6), 2619-2645. https://doi.org/10.1116/1.1314395 |
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