Ludvik Martinu
, Daniel Poitras
Article de revue (2000)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
18
,
no
6
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:28001
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:04
Citer en APA 7:
Martinu, L., & Poitras, D. (2000). Plasma Deposition of Optical Films and Coatings: a Review. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 18(6), 2619-2645. https://doi.org/10.1116/1.1314395
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